表面新物質とエピタクシー
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表面新物質とエピタクシー
培風館, 1992.12
- タイトル読み
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ヒョウメン シンブッシツ ト エピタクシー
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注記
編集委員: 井野正三ほか
執筆者: 井野正三ほか
各章末: 参考文献
内容説明・目次
内容説明
本書では、エピタクシーの最近までの発展経過を簡単に述べ、表面構造や表面の相転移について説明したのち、エピタクシー過程の代表的な研究方法と、それから得られる情報について解説する。つぎに、次世代のエレクトロニクスを担う代表的な材料である半導体、金属、酸化物超伝導体、ダイヤモンド等をとり上げ、そのエピタクシャル成長や薄膜の制御方法、薄膜の物性について、最近の発展を中心に説明する。
目次
- １ エピタクシー研究の歴史
- ２ 表面の理論
- ３ 表面の相転移
- ４ ＧａＡｓ表面および吸着層
- ５ 金属およびＳｉ表面におけるアルカリ金属吸着
- ６ 走査トンネル顕微鏡と半導体表面の理論
- ７ 走査トンネル顕微鏡によるＳｉ表面の観察
- ８ 電子顕微鏡法による表面構造の解析
- ９ 電子顕微鏡によるエピタクシャル成長のその場観察
- １０ ＲＨＥＥＤの強度振動とエピタクシーの制御
- １１ 電子線、Ｘ線分光によるエピタクシーの解析
- １２ イオン散乱分光によるエピタクシーのその場解析
- １３ 半導体薄膜のエピタクシーとその制御
- １４ 金属の多層膜の生成とその物性
- １５ 酸化物超伝導体のエピタクシーとその表面・界面
- １６ 気相からのダイヤモンド成長とエピタクシー
「BOOKデータベース」 より