超精密工作機械の製作 : 設計・対策・加工メカニズム
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超精密工作機械の製作 : 設計・対策・加工メカニズム
工業調査会, 1993.3
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チョウセイミツ コウサク キカイ ノ セイサク : セッケイ・タイサク・カコウ メカニズム
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執筆者: 内田史彦ほか
各章末: 参考文献
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第1編 超精密工作機械の設計と機構
- 第2編 超精密工作機械における熱・振動対策と作業環境
- 第3編 超精密加工のメカニズムと被削材料・計測
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