半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編

著者

• 角野, 浩二 スミノ, コウジ

書誌事項

半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編

角野浩二監修

サイエンスフォーラム, 1993.6

タイトル読み

ハンドウタイ ノ ケッショウ ケッカン セイギョ ノ カガク ト ギジュツ : シリコン ヘン

注記

執筆者:角野浩二ほか

各章末:文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0926373X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 365p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8