半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編

Author(s)

• 角野, 浩二 スミノ, コウジ

Bibliographic Information

半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編

角野浩二監修

サイエンスフォーラム, 1993.6

Title Transcription

ハンドウタイ ノ ケッショウ ケッカン セイギョ ノ カガク ト ギジュツ : シリコン ヘン

Note

執筆者:角野浩二ほか

各章末:文献

Details

• NCID: BN0926373X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 365p
• Size: 31cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8