VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

Author(s)

Bibliographic Information

VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著

日刊工業新聞社, 1993.6

Title Transcription

VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ

Available at  / 33 libraries

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　ＬＳＩプロセス技術の概要
  • 第２章　ホトリソグラフィ工程
  • 第３章　基板工程
  • 第４章　配線工程
  • 第５章　ダスト・汚染
  • 第６章　故障解析技術

by "BOOK database"

Details

  • NCID
    BN09282610
  • ISBN
    • 4526033383
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    iv, 4, 143, 2p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
Page Top