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エキシマーレーザー

前田三男編

(日本分光学会測定法シリーズ, 27)

学会出版センター, 1993.8

タイトル読み

エキシマー レーザー

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注記

レーザーに関連した参考文献一覧: p[239]-243

内容説明・目次

目次

  • 1章 エキシマーレーザーと分光学
  • 2章 エキシマーレーザーの基礎
  • 3章 放電励起エキシマーレーザー装置
  • 4章 電子ビーム励起エキシマーレーザー装置
  • 5章 エキシマーレーザーの制御技術
  • 6章 エキシマーレーザーの応用技術

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN09561330
  • ISBN
    • 4762267406
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    ix, 247p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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