シリコンLSIと化学

Author(s)

• 伴, 保隆 バン, ヤスタカ

Bibliographic Information

シリコンLSIと化学

伴保隆著

（新産業化学シリーズ / 日本化学会編）

大日本図書, 1993.10

Title Transcription

シリコン LSI ト カガク

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• シリコンLSIと化学

  1993

  NDL Digital Collections

  Limited

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １　シリコンＬＳＩ
• ２　シリコンＬＳＩの基礎
• ３　シリコンＬＳＩと化学
• ４　ウェハープロセスと化学
• ５　超ＬＳＩの今後と応用技術

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Details

• NCID: BN09789918
• ISBN:
  • 4477003943
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vi,252p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 集積回路
  • BSH : シリコン(半導体)
• Parent Bibliography ID:
  • BN09789849