低温プラズマ材料化学
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低温プラズマ材料化学
産業図書, 1994.3
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テイオン プラズマ ザイリョウ カガク
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注記
参考文献: 章末
内容説明・目次
目次
- 第1章 低温プラズマによる物質創製の意義
- 第2章 プラズマの化学
- 第3章 プラズマCVD
- 第4章 イオンプレーティング
- 第5章 スパッタリング
- 第6章 プラズマ重合
- 第7章 プラズマ表面処理
- 第8章 プラズマエッチング
「BOOKデータベース」 より