化合物半導体 : プロセスと化学
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化合物半導体 : プロセスと化学
(新産業化学シリーズ / 日本化学会編)
大日本図書, 1994.6
- タイトル読み
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カゴウブツ ハンドウタイ : プロセス ト カガク
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内容説明・目次
目次
- 1 化合物半導体とは
- 2 化合物半導体の基礎物性
- 3 バルク結晶成長技術
- 4 バルク結晶の加工技術
- 5 薄膜結晶成長技術
- 6 化合物半導体結晶の評価技術
- 7 化合物半導体の展望と課題
「BOOKデータベース」 より