半導体シリコンビジネスのすべて : 8インチ・エピウェーハ化が焦点
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半導体シリコンビジネスのすべて : 8インチ・エピウェーハ化が焦点
（K books, 104）
工業調査会, 1994.8
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ハンドウタイ シリコン ビジネス ノ スベテ : 8インチ ・ エピウェーハカ ガ ショウテン
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Description and Table of Contents
Description
メモリ、マイクロプロセッサをはじめとするＶＬＳＩの変遷はすこぶる激しい。しかし、その陰にあってデバイス以上に過酷な変遷を要求されているのがシリコン基板である。本書はこのシリコン基板にターゲットを当てたもので、デバイス産業との関連から機能化材料としての役割、多様化する製品の動き、市場性、今後の展望などにつき詳説している。“ビジネス”としてのシリコン基板産業の全貌が明瞭にとらえられている。
Table of Contents
- 第１章 シリコン基板産業のあらまし
- 第２章 シリコン基板産業からみたシリコン半導体産業の発展
- 第３章 シリコン基板産業とデバイス産業との関連
- 第４章 多結晶シリコンの製造と産業
- 第５章 シリコン基板産業の動き
- 第６章 シリコン基板の製造プロセス
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