ULSIデバイス・プロセス技術

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Bibliographic Information

ULSIデバイス・プロセス技術

伊藤隆司編著 ; 電子情報通信学会編

電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 1995.2

Other Title

ULSIデバイスプロセス技術

Device and process technologies for ultra large scale integration

Title Transcription

ULSI デバイス・プロセス ギジュツ

Available at  / 86 libraries

Note

監修: 菅野卓雄

各章末: 文献

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • バイポーラトランジスタの動作機構
  • ＭＯＳトランジスタの動作原理
  • ＵＬＳＩデバイス構造
  • ＵＬＳＩの製造方法
  • リソグラフィとエッチング
  • ＵＬＳＩ製造の要素技術
  • 信頼性と検査技術
  • ＵＬＳＩのための将来技術

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Details

  • NCID
    BN12078623
  • ISBN
    • 4885521262
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京,東京
  • Pages/Volumes
    vii, 322p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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