ULSIデバイス・プロセス技術
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ULSIデバイス・プロセス技術
電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 1995.2
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ULSIデバイスプロセス技術
Device and process technologies for ultra large scale integration
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ULSI デバイス・プロセス ギジュツ
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Note
監修: 菅野卓雄
各章末: 文献
Description and Table of Contents
Table of Contents
- バイポーラトランジスタの動作機構
- MOSトランジスタの動作原理
- ULSIデバイス構造
- ULSIの製造方法
- リソグラフィとエッチング
- ULSI製造の要素技術
- 信頼性と検査技術
- ULSIのための将来技術
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