原子間力顕微鏡のすべて : 原子や分子を見て動かす

著者

• 森田, 清三 モリタ, セイゾウ

書誌事項

原子間力顕微鏡のすべて : 原子や分子を見て動かす

森田清三著

（K books, 108）

工業調査会, 1995.3

タイトル読み

ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ スベテ : ゲンシ ヤ ブンシ オ ミテ ウゴカス

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

ＡＦＭは、酸化した金属や半導体表面の測定はもちろん、絶縁体の表面すら高分解能で観測が可能なので、空気中での材料物性評価や微小寸法計測やプロセス加工評価やデバイス評価などの、「エンジニアリング・ツール」として、急速に普及してきた。しかしながら、エンジニアリング・ツールとして発展してきたＡＦＭには、多くの未解明の疑問を残していた。本書では、疑問点の解明に関連するＡＦＭの最近の新しい展開について紹介する。

目次

• 第１章　“小さいてこ”を走査する原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）
• 第２章　“小さいてこ”を接触させて見る
• 第３章　“小さいてこ”を非接触にして見る
• 第４章　“小さいてこ”で原子や分子を動かす
• 第５章　ＡＦＭとは？

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN12299553
• ISBN:
  • 4769311389
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 178p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.97
  • NDC7 : 549.513
  • NDLC : ND448
• 件名:
  • BSH : 原子間力顕微鏡
  • NDLSH : 走査型プローブ顕微鏡
• 親書誌ID:
  • BN00077281