多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

著者

• 尾田, 十八 オダ, ジュウハチ

書誌事項

多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

研究代表者 尾田十八

[尾田十八], 1995.3

タイトル読み

タソウタイ ノ セッショクロン オ リヨウ シタ ハクマク ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカホウ ニ カンスル ケンキュウ

注記

平成6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN12545387
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [金沢]
• ページ数/冊数: 105枚
• 大きさ: 30cm