ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現

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Bibliographic Information

ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現

岩松誠一著

（K books, 92）

工業調査会, 1994.1

初版第2刷

Title Transcription

ココマデ キタ ハンドウタイ セイジョウカ ギジュツ : スーパー クリーン テクノロジー ジツゲン

Available at  / 6 libraries

Note

「まえがき」1992年11月付, 参考文献追加有

各章末:参考文献

Description and Table of Contents

Description

本書は長年半導体デバイスの表面現象に取り組んできた著者が、そのノウハウを明らかにするとともに、豊富な事例を盛り込みながら解説したもの。半導体デバイス・プロセスにこれから携わろうとしている方々に必須の書。

Table of Contents

  • 第１章　半導体清浄化技術とは
  • 第２章　半導体清浄化技術要論
  • 第３章　パーティクル制御
  • 第４章　ドライ洗浄
  • 第５章　半導体清浄化技術の今後の動き

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Details

  • NCID
    BN12812869
  • ISBN
    • 4769311028
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    162p
  • Size
    19cm
  • Classification
  • Subject Headings
  • Parent Bibliography ID
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