ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現

著者

• 岩松, 誠一 イワマツ, セイイチ

書誌事項

ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現

岩松誠一著

（K books, 92）

工業調査会, 1994.1

初版第2刷

タイトル読み

ココマデ キタ ハンドウタイ セイジョウカ ギジュツ : スーパー クリーン テクノロジー ジツゲン

注記

「まえがき」1992年11月付, 参考文献追加有

各章末:参考文献

内容説明・目次

内容説明

本書は長年半導体デバイスの表面現象に取り組んできた著者が、そのノウハウを明らかにするとともに、豊富な事例を盛り込みながら解説したもの。半導体デバイス・プロセスにこれから携わろうとしている方々に必須の書。

目次

• 第１章　半導体清浄化技術とは
• 第２章　半導体清浄化技術要論
• 第３章　パーティクル制御
• 第４章　ドライ洗浄
• 第５章　半導体清浄化技術の今後の動き

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN12812869
• ISBN:
  • 4769311028
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 162p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN00077281