半導体リソグラフィ技術

著者

• 鳳, 紘一郎 ホウ, コウイチロウ

書誌事項

半導体リソグラフィ技術

鳳紘一郎編著

（集積回路プロセス技術シリーズ）

産業図書, 1990.6

第4刷

タイトル読み

ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

注記

文献に「昭和63年追記」有

各章末:文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN1286319X
• ISBN:
  • 4782856237
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 222 p.
• 大きさ: 22 cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BN00597860