軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成

Author(s)

• 岩見, 基弘 イワミ, モトヒロ

Bibliographic Information

軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成

研究代表者:岩見基弘

岩見基弘, 1995.3

Other Title

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書(課題番号05555191)

Title Transcription

ナン Xセン ブンコウホウ ノ アタラシイ オウヨウ ニヨル チョウビサイ コンタクト ケイセイ

Note

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書

課題番号: 05555191

研究分担者: 平井正明, 渡部宏邦

• NCID: BN13206558
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [岡山]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC7 : 377.7