真空排気とガス放出
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書誌事項
真空排気とガス放出
(真空サイエンスシリーズ / 辻泰, 堀越源一, 本間禎一編, 4)
共立出版, 1995.9
- タイトル読み
-
シンクウ ハイキ ト ガス ホウシュツ
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注記
その他の著者: 小林正典, 堀洋一郎, 坂本雄一
文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 真空ポンプ
- ガス放出
- 放出ガス低減法
- ガス放出現象の実際—ガス放出関連の資料をより深く〔ほか〕
「BOOKデータベース」 より