Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

著者

• 栗林, 勝利 クリバヤシ, カツトシ

書誌事項

Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

栗林勝利研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成7年度）

[山口大学工学部], 1996.3

タイトル別名

Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

タイトル読み

SI ウエハジョウ カギャク ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ノ テイオン ケイジョウ キオク ネツショリ ノ ケンキュウ

注記

課題番号:06452230

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN14721130
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [宇部]
• ページ数/冊数: 78枚
• 大きさ: 29cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X