シリコン・マイクロアームの運動と制御に関する研究

著者

• 下山, 勲 シモヤマ, イサオ

書誌事項

シリコン・マイクロアームの運動と制御に関する研究

研究代表者下山勲

下山勲, 1994.3

タイトル読み

シリコン マイクロアーム ノ ウンドウ ト セイギョ ニカンスル ケンキュウ

注記

平成4年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN14999501
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 98p
• 大きさ: 30cm