半導体立国 : 製造装置の明日を語る

著者

• 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ

書誌事項

半導体立国 : 製造装置の明日を語る

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 1996.11

タイトル読み

ハンドウタイ リッコク : セイゾウ ソウチ ノ アス オ カタル

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• 半導体立国 : 製造装置の明日を語る

  1996

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

監修:金山敏彦

内容説明・目次

内容説明

本書は、単に特定の業界の内幕話ではなく、半導体という先端技術産業の今後の進展を占う、生きた素材を提供している。

目次

• 第１章　「超ＬＳＩ」ブレークスルーの鍵　露光装置
• 第２章　多様化と標準化の両立を求めて—エッチング・レジスト処理・洗浄装置
• 第３章　枚葉化と標準化の大きなうねり—拡散・熱処理装置
• 第４章　ユーザーとの相互協力で時代にミート—イオン注入装置
• 第５章　日本にもほしいロードマップ—スパッタリング装置・ＣＶＤ装置
• 第６章　安定生産ニーズにいかに応えるか—組立装置
• 第７章　プローバ、ハンドラ、テスタメーカー三者一体となった開発が必要—検査装置

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN15450516
• ISBN:
  • 4526039373
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xi, 258p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体