超精密形状計測技術

Author(s)

• 日本機械学会 ニホン キカイ ガッカイ

Bibliographic Information

超精密形状計測技術

日本機械学会編

（超精密シリーズ, 4）

コロナ社, 1996.12

Other Title

Surface measuring technology for ultra-precision

Title Transcription

チョウセイミツ ケイジョウ ケイソク ギジュツ

Access to Electronic Resource 1 items

• 超精密形状計測技術

  1996

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

引用・参考文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １　超精密計測の基本的概念
• ２　光学的手法による表面微細形状計測技術
• ３　触針法による表面微細形状計測技術
• ４　非球面形状計測技術
• ５　三次元測定機による形状計測技術
• ６　ＳＰＭによる超精密形状計測技術
• ７　レーザ干渉測長器の波長校正

by "BOOK database"

Details

• NCID: BN15502154
• ISBN:
  • 4339044148
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: x, 172p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 501.22
  • NDC9 : 535
  • NDLC : M191
• Subject Headings:
  • BSH : 精密測定
  • NDLSH : 測定・測定噐
  • NDLSH : 精密機械
• Parent Bibliography ID:
  • BN14003647