超微細加工技術
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超微細加工技術
（応用物理学シリーズ / 応用物理学会編, 専門コース||センモン コース）
オーム社, 1997.2
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チョウビサイ カコウ ギジュツ
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National Institutes of Natural Sciences Okazaki Library and Information Center図
549.8/Cho9990020711
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Note
参考文献: 各章末
索引: p[305]-309
執筆: 徳山巍ほか
Description and Table of Contents
Description
各種技術を幅広く網羅！今後の応用・将来動向までを考察する。
Table of Contents
- 光リソグラフィ技術
- 電子線リソグラフィ技術
- イオンビームリソグラフィ技術
- Ｘ線リソグラフィ技術
- レジスト材料
- エッチング技術
- 形状シミュレーション技術
- 超微細加工技術の応用
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