はじめての薄膜作製技術
著者
書誌事項
はじめての薄膜作製技術
森北出版, 2012.11
第2版
- タイトル別名
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薄膜作製技術 : はじめての
- タイトル読み
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ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
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注記
初版(工業調査会 , 2006)に加筆訂正を加えて再出版したもの
参考文献: p155-158
内容説明・目次
内容説明
薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
目次
- 第1章 薄膜とは
- 第2章 薄膜作製技術の基礎
- 第3章 真空蒸着法
- 第4章 スパッタリング法
- 第5章 化学気相成長法
- 第6章 薄膜の評価技術
- 第7章 薄膜作製技術の応用
「BOOKデータベース」 より