はじめての薄膜作製技術

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Bibliographic Information

はじめての薄膜作製技術

草野英二著

森北出版, 2012.11

第2版

Other Title

薄膜作製技術 : はじめての

Title Transcription

ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ

Available at  / 88 libraries

Note

初版(工業調査会 , 2006)に加筆訂正を加えて再出版したもの

参考文献: p155-158

Description and Table of Contents

Description

薄膜特有の物性／プラズマ物理の基礎／応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。

Table of Contents

  • 第１章　薄膜とは
  • 第２章　薄膜作製技術の基礎
  • 第３章　真空蒸着法
  • 第４章　スパッタリング法
  • 第５章　化学気相成長法
  • 第６章　薄膜の評価技術
  • 第７章　薄膜作製技術の応用

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Details

  • NCID
    BB1085822X
  • ISBN
    • 9784627774520
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    vii, 160p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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