Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

著者

書誌事項

Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

American Institute of Physics, 1983-1990

  • Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990)

タイトル別名

J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena

Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena

Microelectronics processing and phenomena

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    AA10635106
  • ISSN
    0734211X
  • LCCN
    83642371
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    New York
  • 出版状況
    廃刊
  • 刊行頻度
    隔月刊
  • 定期性
    定期
  • 逐次刊行物のタイプ
    定期刊行物
  • 雑誌変遷マップID
    30085200
  • CODEN
    JVTBD9
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