Ion implantation, sputtering and their applications

著者

• Townsend, Peter David
• Kelly, J. C. (John Clive)
• Hartley, W. N.

書誌事項

Ion implantation, sputtering and their applications

by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley

Academic Press, 1976

注記

Includes bibliographies and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA07511624
• ISBN:
  • 0126969507
• LCCN: 75196983
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: London ; New York
• ページ数/冊数: ix, 333 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : QC702.7.I55
  • DC : 530.4/1
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Sputtering (Physics)