Preparation and properties

著者

• Milek, John T. (John Theophil)

書誌事項

Preparation and properties

John T. Milek

（Handbook of electronic materials, v. 3 . Silicon nitride for microelectronic applications ; pt. 1）

IFI/Plenum, 1971

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA13751247
• ISBN:
  • 0306671034
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: viii, 118 p.
• 大きさ: 27 cm
• 親書誌ID:
  • BA13750685