Handbook of ion implantation technology

著者

• Ziegler, J. F.

書誌事項

Handbook of ion implantation technology

edited by J.F. Ziegler

North-Holland, 1992

タイトル別名

Ion implantation technology

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA18974475
• ISBN:
  • 0444897356
• LCCN: 92027997
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam ; New York
• ページ数/冊数: vii, 700 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : QC702.7.I55
  • DC20 : 530.4/16
• 件名:
  • LCSH : Ion bombardment