Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Fort Lauderdale, Florida, February 7-10, 1993
著者
書誌事項
Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Fort Lauderdale, Florida, February 7-10, 1993
IEEE Service Center, c1993
- : soft.
- : case.
- : micro.
- タイトル別名
-
93CH32656
MEMS
大学図書館所蔵 件 / 全7件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
注記
"IEEE catalog number: 93CH3265-6"
Includes bibliographical references and indexes