Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications

著者

• Kern, Werner

書誌事項

Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications

edited by Werner Kern

Noyes Publications, c1993

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA21455942
• ISBN:
  • 0815513313
• LCCN: 93004078
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, N.J.
• ページ数/冊数: xx, 623 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductor wafers -- Cleaning