Oxidation, diffusion and epitaxy

著者

• Burger, R. M. (Robert M.)
• Donovan, R. P.

書誌事項

Oxidation, diffusion and epitaxy

ed. by R.M. Burger and R.P. Donovan

（Solid state physical electronics series, . Fundamentals of silicon integrated device technology ; v. 1）（Prentice-Hall electrical engineering series）

Prentice-Hall, c1967

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA22478295
• LCCN: 67013671
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Englewood Cliffs, N.J.
• ページ数/冊数: xiv, 495 p.
• 大きさ: 24 cm
• 親書誌ID:
  • BA08050571
  • BA00107937