マイクロ加工の物理と応用

Author(s)

• 吉田, 善一 ヨシダ, ヨシカズ

Bibliographic Information

マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著

（応用物理学選書, 8）

裳華房, 1998.3

Other Title

The physics and technology of microfabrication

Title Transcription

マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ

Note

欧文標題は標題紙裏による

付: 参考文献, 参考書

Description and Table of Contents

Description

本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、それに初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。

Table of Contents

• １　マイクロ加工の意義
• ２　光・電子・イオン
• ３　粒子と固体との相互作用
• ４　加工現象
• ５　加工装置
• ６　マイクロマシニング

by "BOOK database"

Details

• NCID: BA35144601
• ISBN:
  • 4785325089
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: x, 234p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • BSH : 集積回路
  • BSH : 電子光学
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 機械工作
• Parent Bibliography ID:
  • BN00353549