SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

著者

• 平本, 俊郎 ヒラモト, トシロウ

書誌事項

SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

研究代表者 平本俊郎

平本俊郎, 1998.3

タイトル別名

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

SOI コウゾウ ニ オケル サンカ メカニズム ノ カイメイ ニ カンスル ケンキュウ

注記

研究分担者: 藤田博之[ほか]

• NII書誌ID(NCID): BA37075088
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 57p
• 大きさ: 30cm