はじめての半導体製造装置

著者

• 前田, 和夫 マエダ, カズオ

書誌事項

はじめての半導体製造装置

前田和夫著

（ビギナーズブックス, 3）

工業調査会, 1999.3

タイトル読み

ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ

注記

さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247

引用文献および資料: p248-250

内容説明・目次

内容説明

本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。

目次

• 第０章　半導体製造装置という世界
• 第１章　半導体デバイスの製造工程
• 第２章　半導体製造装置の技術史
• 第３章　半導体製造装置の種類と役割
• 第４章　半導体製造装置の構成と方式
• 第５章　各種半導体製造装置の概要
• 第６章　半導体製造装置の現場
• 第７章　半導体製造装置の技術要素
• 第８章　半導体製造装置技術のロードマップ
• 第９章　２１世紀の半導体製造装置—半導体製造装置進化論

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA40473169
• ISBN:
  • 4769311699
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 254p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BA38795526