プラズマ気相反応工学
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プラズマ気相反応工学
内田老鶴圃, 2000.4
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プラズマ キソウ ハンノウ コウガク
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各章末: 参考文献
索引: p239-243
Description and Table of Contents
Description
プラズマの応用は、これまでの材料プロセスから、さらには環境汚染物質の処理へと大きく拡がりつつあり、それにともない、プラズマを構成する電子と正イオンの振舞だけでなく、それらと混在する中性気体粒子との間の衝突反応、および被処理対象物質、表面での相互作用などに対する理解と情報も極めて重要となってきている。また、技術的な面でも、多くの新しいプラズマ生成法や計測法が開発されている。本書は初心者を対象に、実験研究に必要となるこれらの知識を平易に解説したものである。粒子間衝突を主とする気相空間での反応に関する部分をとりあげている。
Table of Contents
- 序論—プラズマの反応基礎過程
- プラズマの生成と制御（理論と実際；新しいプラズマの発生法）
- プラズマの診断（分光法の原理と方法；非発光ラジカル種の新しい計測法；分光器の原理と実際）
- プラズマ気相反応を用いた各種応用
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