荷電粒子ビーム工学
著者
書誌事項
荷電粒子ビーム工学
コロナ社, 2001.5
- タイトル別名
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Science and technology of charged particles beams
- タイトル読み
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カデン リュウシ ビーム コウガク
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注記
参考文献: p[297]-298
内容説明・目次
内容説明
本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。
目次
- 1 荷電粒子ビームの特質と利用形態
- 2 電子とイオン
- 3 電子の発生とビーム形成
- 4 イオンの発生とビーム形成
- 5 ビーム輸送と操作
- 6 ビームと固体原子の相互作用
- 7 高周波エネルギー変換デバイス
- 8 荷電粒子ビーム装置
「BOOKデータベース」 より