荷電粒子ビーム工学
著者
書誌事項
荷電粒子ビーム工学
コロナ社, 2001.5
- タイトル別名
-
Science and technology of charged particles beams
- タイトル読み
-
カデン リュウシ ビーム コウガク
大学図書館所蔵 件 / 全132件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
参考文献: p[297]-298
内容説明・目次
内容説明
本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。
目次
- １ 荷電粒子ビームの特質と利用形態
- ２ 電子とイオン
- ３ 電子の発生とビーム形成
- ４ イオンの発生とビーム形成
- ５ ビーム輸送と操作
- ６ ビームと固体原子の相互作用
- ７ 高周波エネルギー変換デバイス
- ８ 荷電粒子ビーム装置
「BOOKデータベース」 より
