イオンビーム技術の開発

著者

• イオンビーム応用技術編集委員会 イオン ビーム オウヨウ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ

書誌事項

イオンビーム技術の開発

イオンビーム応用技術編集委員会編集

（CMCテクニカルライブラリー）

シーエムシー, 2001.6

普及版

タイトル別名

Development of ionbeam technology

タイトル読み

イオン ビーム ギジュツ ノ カイハツ

注記

「イオンビーム応用技術」(1989年刊)の改題

文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

本書は、基礎的なイオンビームの物理化学、各種イオンビーム装置技術、またこれらの装置を用いた応用技術、特にイオン注入あるいは薄膜コーティングを主体にした表面機能材料、機能素子への応用に重点を置き、それぞれの分野の第一人者に執筆頂いたものである。

目次

• 基礎編（イオンビームと固体との相互作用；イオンビームの物理化学；イオンビームの発生と輸送；イオンビーム装置）
• 応用編（イオン注入による表面改質技術とその応用；イオンミキシングによる表面改質技術とその応用；薄膜形成表面被覆技術とその応用；表面除去加工技術とその応用；イオンビームによる分析評価技術　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA52505819
• ISBN:
  • 4882317303
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 437p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.1
  • NDC9 : 549.1
• 件名:
  • BSH : イオンビーム
• 親書誌ID:
  • BA49949541