薄膜化技術
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薄膜化技術
共立出版, 2002.6
第3版
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ハクマクカ ギジュツ
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折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
文献: 各章末
Description and Table of Contents
Description
薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。
Table of Contents
- 第１部 薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）
- 第２部 スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着；薄膜構造の精密制御とナノメータ材料）
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