真空ハンドブック

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Bibliographic Information

真空ハンドブック

アルバック編

オーム社, 2002.7

新版

Title Transcription

シンクウ ハンドブック

Available at  / 164 libraries

Note

折り込表4枚

Description and Table of Contents

Description

本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。

Table of Contents

  • 第１章　真空の基礎
  • 第２章　真空用部品
  • 第３章　真空用構成材料
  • 第４章　熱
  • 第５章　低温
  • 第６章　プラズマ・イオンビーム
  • 第７章　表面分析
  • 第８章　薄膜・表面加工
  • 第９章　応用

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Details

  • NCID
    BA57631140
  • ISBN
    • 9784274087271
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xxv, 331p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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