真空ハンドブック

著者

• アルバック アルバック

書誌事項

真空ハンドブック

アルバック編

オーム社, 2002.7

新版

タイトル読み

シンクウ ハンドブック

注記

折り込表4枚

内容説明・目次

内容説明

本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。

目次

• 第１章　真空の基礎
• 第２章　真空用部品
• 第３章　真空用構成材料
• 第４章　熱
• 第５章　低温
• 第６章　プラズマ・イオンビーム
• 第７章　表面分析
• 第８章　薄膜・表面加工
• 第９章　応用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA57631140
• ISBN:
  • 9784274087271
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xxv, 331p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 534.93
  • NDC9 : 534.93
• 件名:
  • BSH : 真空技術 -- 便覧