薄膜工学

著者

• 白木, 靖寛 シラキ, ヤスヒロ
• 吉田, 貞史 ヨシダ, サダフミ
• 金原, 粲 キンバラ, アキラ

書誌事項

薄膜工学

白木靖寛, 吉田貞史編著

丸善, 2003.3

タイトル読み

ハクマク コウガク

注記

監修: 金原粲

文献: 項目末

内容説明・目次

内容説明

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。

目次

• １　総論（薄膜の機能と応用；薄膜形成技術；膜成長過程とエピタキシー；薄膜の歴史）
• ２　薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング法；化学気相成長法）
• ３　薄膜の機能（半導体薄膜；光学薄膜；有機薄膜；誘電体薄膜；磁性薄膜）
• ４　薄膜の性質と応用（膜厚測定法；薄膜の機械的・力学的性質；薄膜の化学的性質；電子デバイスへの応用）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA6132389X
• ISBN:
  • 4621071432
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiii, 310p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • BSH : 薄膜