薄膜工学

Author(s)

Bibliographic Information

薄膜工学

白木靖寛, 吉田貞史編著

丸善, 2003.3

Title Transcription

ハクマク コウガク

Available at  / 109 libraries

Note

監修: 金原粲

文献: 項目末

Description and Table of Contents

Description

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。

Table of Contents

  • １　総論（薄膜の機能と応用；薄膜形成技術；膜成長過程とエピタキシー；薄膜の歴史）
  • ２　薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング法；化学気相成長法）
  • ３　薄膜の機能（半導体薄膜；光学薄膜；有機薄膜；誘電体薄膜；磁性薄膜）
  • ４　薄膜の性質と応用（膜厚測定法；薄膜の機械的・力学的性質；薄膜の化学的性質；電子デバイスへの応用）

by "BOOK database"

Details

  • NCID
    BA6132389X
  • ISBN
    • 4621071432
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xiii, 310p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
Page Top