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薄膜工学

白木靖寛, 吉田貞史編著

丸善, 2003.3

Title Transcription

ハクマク コウガク

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Note

監修: 金原粲

文献: 項目末

Description and Table of Contents

Description

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。

Table of Contents

  • 1 総論(薄膜の機能と応用;薄膜形成技術;膜成長過程とエピタキシー;薄膜の歴史)
  • 2 薄膜の作製法(真空蒸着;スパッタリング法;化学気相成長法)
  • 3 薄膜の機能(半導体薄膜;光学薄膜;有機薄膜;誘電体薄膜;磁性薄膜)
  • 4 薄膜の性質と応用(膜厚測定法;薄膜の機械的・力学的性質;薄膜の化学的性質;電子デバイスへの応用)

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Details

  • NCID
    BA6132389X
  • ISBN
    • 4621071432
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xiii, 310p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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