事例で学ぶDLC成膜技術
著者
書誌事項
事例で学ぶDLC成膜技術
日刊工業新聞社, 2003.5
- タイトル別名
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Diamond like carbon
DLC成膜技術 : 事例で学ぶ
- タイトル読み
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ジレイ デ マナブ DLC セイマク ギジュツ
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注記
参考文献: 各章末
内容説明・目次
内容説明
本書はDLC(ダイヤモンドライクカーボン)皮膜に係わる技術伝承書である。すなわち、本書の第2編の事例編では、新しいDLC皮膜の創製によって、執筆者それぞれが自らの技術的課題を巧みに解決した点に焦点を絞って解説している。したがって、本書はDLCについての基礎知識を得る技術入門書であると同時に、モノづくりの現場で活躍している現役の技術者のDLCに関する貴重な「体験記」であり、「教訓記」なのである。
目次
- 第1編 DLC成膜技術とは何か(DLC膜とは何か;DLC膜の特性;DLC成膜技術の工業的応用と開発課題)
- 第2編 DLCを用いた応用事例(UBMスパッタ法によるDLC膜の特性とその応用;ハードDLC・メタルDLC・ナノカーボンの特徴と応用;金属含有DLC(Me‐DLC)の工業応用;UBMS法によるDLC膜の特性と用途展開;精密機械部品におけるDLC膜の適用事例 ほか)
「BOOKデータベース」 より