分光エリプソメトリー
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分光エリプソメトリー
丸善, 2003.6
- タイトル読み
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ブンコウ エリプソメトリー
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内容説明・目次
内容説明
分光エリプソメトリーをもちいた測定技術は飛躍的な発達を遂げ、同時にコンピューターの発達により測定の自動化が進み、その結果、分光エリプソメトリーは、簡便な高精度測定法としての地位を確立し、現在では半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。本書は、これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を大学および企業において分光エリプソメトリーを新しく利用し始めた研究者にわかりやすく解説した入門書として最適です。
目次
- 第1章 分光エリプソメトリーとは
- 第2章 光学の基礎
- 第3章 偏光
- 第4章 分光エリプソメトリーの原理
- 第5章 データ解析
- 第6章 材料別解析例
- 第7章 分光エリプソメトリーによる実時間観測
「BOOKデータベース」 より