表面分析:SIMS : 二次イオン質量分析法の基礎と応用
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表面分析:SIMS : 二次イオン質量分析法の基礎と応用
アグネ承風社, 2003.7
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Practical surface analysis. Volume2: Ion and neutral spectroscopy
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ヒョウメン ブンセキ SIMS : ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ノ キソ ト オウヨウ
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引用文献: 各章末
Practical surface analysis.Volume2:Ion and neutral spectroscopy 原著第2版の抄訳
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 表面におけるＳＩＭＳ（新規解説文）
- ＳＩＭＳの装置
- スパッター深さ方向分析の基本概念
- スパッタリングを用いた定量分析法：二次イオンおよびスパッター中性粒子質量分析法（抄訳）
- ダイナミックＳＩＭＳとそのマイクロエレクトロニクスへの応用
- スタティックＳＩＭＳ（無機材料への応用；有機材料の表面分析）
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