イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等
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書誌事項
イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等
イオン工学研究所, 2003.5
- タイトル別名
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ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック
- タイトル読み
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イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ
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注記
監修: 水野博之
その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
参考文献あり