マイクロ波プラズマの技術

著者

• 電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会 デンキ ガッカイ マイクロハ プラズマ チョウサ センモン イインカイ

書誌事項

マイクロ波プラズマの技術

電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会編

オーム社, 2003.9

タイトル読み

マイクロハ プラズマ ノ ギジュツ

内容説明・目次

目次

• １章　プラズマ生成入門
• ２章　マイクロ波帯のプラズマの発展と特色
• ３章　マイクロ波帯のプラズマ生成の考え方
• ４章　プラズマ生成のモデリングとシミュレーション
• ５章　マイクロ波帯プラズマの実際と応用
• ６章　プラズマ生成のためのマイクロ波技術

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA63829266
• ISBN:
  • 4274197107
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xi, 257p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 427.6
  • NDC9 : 427.6
  • NDLC : MC241
• 件名:
  • BSH : プラズマ
  • BSH : マイクロ波