マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現

書誌事項

マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現

高分子学会編

(ポリマーフロンティア21シリーズ, 22)

エヌ・ティー・エス, 2004.7

タイトル別名

マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積制御による新機能発現

タイトル読み

マイクロエレクトロニクス ニオケル コウブンシ ザイリョウ : ナノ コウゾウ シュウセキ セイギョ ニ ヨル シンキノウ ハツゲン

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注記

文献あり

内容説明・目次

目次

  • 1 ULSIの将来展望と高分子材料への期待
  • 2 層間絶縁膜用低誘電率ボラジン—ケイ素ポリマーの開発
  • 3 エレクトロニクス用感光性耐熱ポリマーの合成
  • 4 導電性高分子で作るプラスチックエレクトロニクス
  • 5 実装材料としてのエポキシ樹脂の開発動向
  • 6 エレクトロニクス実装における高分子材料設計技術

「BOOKデータベース」 より

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