よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説

Author(s)

    • 「半導体LSIのできるまで」編集委員会 ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ ヘンシュウ イインカイ

Bibliographic Information

よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説

「半導体LSIのできるまで」編集委員会編著

日刊工業新聞社, 2004.11

改訂第2版

Other Title

半導体LSIのできるまで : よくわかる

Title Transcription

ヨク ワカル ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ : セイゾウ コウテイ ノ ナガレ オ オッテ カイセツ

Available at  / 70 libraries

Description and Table of Contents

Description

LSIの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体LSIに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体LSIはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。

Table of Contents

  • 第1章 半導体LSIとは
  • 第2章 半導体製造技術及び装置技術の動向
  • 第3章 設計工程
  • 第4章 ウェーハ製造工程
  • 第5章 フォトマスク製作工程
  • 第6章 ウェーハ処理工程(前工程)
  • 第7章 組立工程
  • 第8章 検査工程

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Details

  • NCID
    BA69935572
  • ISBN
    • 4526053759
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    172p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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