よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説
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よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説
日刊工業新聞社, 2004.11
改訂第2版
- Other Title
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半導体LSIのできるまで : よくわかる
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ヨク ワカル ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ : セイゾウ コウテイ ノ ナガレ オ オッテ カイセツ
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Description and Table of Contents
Description
LSIの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体LSIに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体LSIはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。
Table of Contents
- 第1章 半導体LSIとは
- 第2章 半導体製造技術及び装置技術の動向
- 第3章 設計工程
- 第4章 ウェーハ製造工程
- 第5章 フォトマスク製作工程
- 第6章 ウェーハ処理工程(前工程)
- 第7章 組立工程
- 第8章 検査工程
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