レジスト材料

Author(s)

• 伊藤, 洋 イトウ, ヒロシ
• 高分子学会 コウブンシ ガッカイ

Bibliographic Information

レジスト材料

伊藤洋著 ; 高分子学会編集

（高分子先端材料One Point / 高分子学会編集, 10）

共立出版, 2005.2

Title Transcription

レジスト ザイリョウ

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　リソグラフィ技術による微細加工とレジスト（レジストとは何か？；レジストの分類；レジストに要求される性能と特性評価法）
• 第２章　レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史（架橋ネガ型レジスト；ポジ型フォトレジスト　ほか）
• 第３章　化学増幅レジスト（酸触媒反応—増幅の化学；酸発生剤　ほか）
• 第４章　現状と将来
• 第５章　おわりに

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Details

• NCID: BA70954224
• ISBN:
  • 4320043723
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: iv, 104p
• Size: 19cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• Subject Headings:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 感光性樹脂
• Parent Bibliography ID:
  • BA67439933