レジスト材料

著者

• 伊藤, 洋 イトウ, ヒロシ
• 高分子学会 コウブンシ ガッカイ

書誌事項

レジスト材料

伊藤洋著 ; 高分子学会編集

（高分子先端材料One Point / 高分子学会編集, 10）

共立出版, 2005.2

タイトル読み

レジスト ザイリョウ

内容説明・目次

目次

• 第１章　リソグラフィ技術による微細加工とレジスト（レジストとは何か？；レジストの分類；レジストに要求される性能と特性評価法）
• 第２章　レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史（架橋ネガ型レジスト；ポジ型フォトレジスト　ほか）
• 第３章　化学増幅レジスト（酸触媒反応—増幅の化学；酸発生剤　ほか）
• 第４章　現状と将来
• 第５章　おわりに

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA70954224
• ISBN:
  • 4320043723
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: iv, 104p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 感光性樹脂
• 親書誌ID:
  • BA67439933